德國普蘭德PC 3 / RC 6化學雜交泵是將一個雙級旋片泵和一個雙級化學隔膜泵結合在一起。隔膜泵用以維持油腔內的真空度，使溶劑蒸汽的分壓保持在它們的露點之下，大大減少氧化性或腐蝕性氣體的冷凝。
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